一、LYLH-12Y-54 六氟化硫氣體回收充放裝置用途及型號說明
SF6氣體作為一種絕緣氣體，具有無毒、不可燃，以及良好的絕緣特性，其絕緣強(qiáng)度大大高于傳統(tǒng)的絕緣氣體，并具有良好的滅弧性，因此廣泛應(yīng)用于SF6電器。由于SF6氣體價格昂貴，且在電弧、電火花和電暈放電的作用下，會分解產(chǎn)生有毒成份。因此SF6電器設(shè)備應(yīng)用時需要將SF6氣體回收。本裝置就是為了制造和維修SF6電器設(shè)備時，回收和充加SF6氣體的一種專用設(shè)備。
二、LYLH-12Y-54 六氟化硫氣體回收充放裝置主要技術(shù)參數(shù)
1、回收
回收初壓力≤0.8MPa
回收終壓力≤5KPa
回收時間：對初壓力0.8MPa的1 m3 SF6氣體容積，回收至終壓力5KPa，回收時間小于2小時。
2、充氣
對初壓力為133Pa的1 m3 SF6氣體容積充至0.8MPa，充氣時間小于0.8小時。
3、抽真空
裝置極限真空度小于等于10 Pa
對初壓力為0.1MPa的1 m3 SF6氣體容積抽真空至133Pa所需時間小于1.0小時。
4、貯存
貯存容器容積0.15m3
名義液態(tài)貯存量200kg
*高貯存壓力3.8 MPa
5、凈化
對含水量1000PPM（體積比）以下的SF6氣體，經(jīng)本裝置一次回收凈化后，水份小于60PPM（重量比），油份小于10PPM（重量比）
6、年泄漏率≤1%名義儲存量
7、噪聲≤75dB(A)聲壓級
8、工作環(huán)境溫度 -10°—40℃
9、功率≤8KW
10、電源：交流三相五線制 50HZ 380V±10%
11、重量約800kg
12、外形尺寸（長×寬×高）：1900×1100×1600
三、LYLH-12Y-54 六氟化硫氣體回收充放裝置工作原理和結(jié)構(gòu)特征
LYLH-12Y-54 型SF6氣體回收充放裝置具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統(tǒng)比較完全，參見附錄一系統(tǒng)圖。各功能的串聯(lián)或切換主要通過操作集中于面板一側(cè)的電控箱和球閥來完成。
回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機(jī)的抽吸性和壓縮性把SF6電器設(shè)備內(nèi)一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機(jī)，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發(fā)溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進(jìn)行液化、貯存。這樣連續(xù)抽吸至SF6壓縮機(jī)串聯(lián)運(yùn)行，直至達(dá)到回收終壓力。
在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設(shè)備（或鋼瓶）和連接管路進(jìn)行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機(jī)的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內(nèi)的SF6充入SF6電器設(shè)備，直至達(dá)到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
系統(tǒng)中設(shè)置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機(jī)的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
系統(tǒng)回路中設(shè)置了干燥過濾器，以保證進(jìn)入貯存容器的SF6的純度并有效去除水份。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反復(fù)使用。
系統(tǒng)中設(shè)有可靠的**保護(hù)裝置，高壓壓力控制器安裝在SF6壓縮機(jī)排氣口，一旦排氣壓力超過限定值它會自動停止壓縮機(jī)的工作，待壓力下降后再重新啟動壓縮機(jī)；**閥安裝在貯存容器上一旦超壓**閥自動打開排放氣體，壓力下降后自動關(guān)閉。
另外，系統(tǒng)中還設(shè)置了監(jiān)視儀表和控制儀表共七只，其中真空計一只，安裝在裝置回收進(jìn)氣口，并在真空計前裝置了DN8閥門，需要觀察時打開即可；壓力表六只，分別安裝在回收進(jìn)氣口、SF6壓縮機(jī)排氣口、冷凍壓縮機(jī)吸排氣口和貯存容器上；冷凍系統(tǒng)上設(shè)置了一只溫度計，利用溫包感應(yīng)SF6液體溫度。
系統(tǒng)中真空泵的進(jìn)口處裝有電磁真空帶充氣閥，并與真空泵接在同一個電源上，當(dāng)泵停止工作時，閥能自動將真空系統(tǒng)封閉，并將大氣通過泵的進(jìn)口充入泵腔，從而避免泵油逆流污染真空系統(tǒng)。
系統(tǒng)中的冷凍系統(tǒng)由高低壓壓力控制器整定冷凍壓縮機(jī)的進(jìn)出口壓力。一旦超出限值范圍將自行切斷冷凍壓縮機(jī)的工作，低壓斷開時待壓力回升或高壓斷開時，待壓力回落后，再重新啟動壓縮機(jī)。
總體結(jié)構(gòu)，該裝置采用手推移動式，可適應(yīng)室內(nèi)外正常環(huán)境條件下使用。本裝置系統(tǒng)比較復(fù)雜，由真空泵、SF6壓縮機(jī)、冷凍系統(tǒng)、貯存容器、管路、各種閥門、儀表及其他附件組成。
電控箱、操作閥門和監(jiān)視儀表全部集中于一側(cè)面板且有流程指示，因而使用時方便明了。
四、LYLH-12Y-54 六氟化硫氣體回收充放裝置開機(jī)前的工作
1、注意要點
開機(jī)前請注意如下幾點：
管路連接要保證連接處的密封性。
由于本裝置出廠時已抽真空，但建議開機(jī)時先對本裝置抽真空，方法見第五節(jié)有關(guān)內(nèi)容。在開機(jī)使用后，一般應(yīng)在貯存容器和管路內(nèi)留少量SF6氣體，否則開機(jī)時建議重新抽真空。
2、管路連接
用戶在使用前，首先應(yīng)將隨機(jī)發(fā)送的橡膠軟管根據(jù)功能的需要連接好，為盡可能減小管路損失，管路應(yīng)盡量短。
回收：電器設(shè)備——橡膠軟管——回收進(jìn)氣口
充放：電器設(shè)備——橡膠軟管——充放出氣（液）口
電器設(shè)備SF6回收灌瓶需二根軟管：
電器設(shè)備——橡膠軟管——回收進(jìn)氣口
鋼瓶——橡膠軟管——充放出氣（液）口
貯存容器內(nèi)SF6灌瓶：
鋼瓶——橡膠軟管——充放出氣（液）口
設(shè)備除了回收進(jìn)氣口、充放出氣（液）口之外，還有一個排放大氣口，它的接口用戶可根據(jù)需要決定是否配接管路。
3、油位檢查
回收裝置中壓縮機(jī)采用N46（25#）冷凍機(jī)油作為潤滑劑，真空泵采用高速真空泵油作為潤滑劑，開機(jī)前應(yīng)先檢查油位。如果油位太低或太高，應(yīng)加油或放油至油標(biāo)視鏡中心位置，在運(yùn)行中也應(yīng)注意定期檢查實際油位線，不應(yīng)低于中心線太多。N46號冷凍機(jī)油，原則上使用期一年，到期需調(diào)換機(jī)油，用油量見第2節(jié)有關(guān)內(nèi)容，換油方法見第六節(jié)有關(guān)內(nèi)容。
4、冷凍系統(tǒng)檢查
冷凍系統(tǒng)采用R22為制冷劑，壓縮機(jī)為全封閉活塞式壓縮機(jī)，需要時則添加制冷劑。開機(jī)前還應(yīng)檢查線路有無損傷，接頭有否松動，風(fēng)機(jī)是否正常等等。
5、電源連接
本裝置的供電電源為三相交流50HZ 380V±10%，總功率≤8KW。裝置的電器控制元件全部集中在電控箱內(nèi)，電器線路圖可參見附錄五電器原理圖、附錄六電控箱元件布置圖。因按鈕、開關(guān)及指示燈安裝在電控箱的門上，故在正常工作狀態(tài)下電控箱不用打開，見附錄七電控箱操作面板圖，只須將放在回收裝置貯存容器邊上的動力電纜線插頭與適當(dāng)?shù)碾娫催B接。在本節(jié)上述幾項開機(jī)前的工作均已完成的情況下方可開啟電控箱電源開關(guān)，進(jìn)入工作狀態(tài)，此時需按第五節(jié)的說明進(jìn)行操作。
電器線路中設(shè)有斷相與相序保護(hù)繼電器，可手動調(diào)正電源相序。電控箱上方設(shè)有積時儀，無論是真空泵或SF6壓縮機(jī)或泵機(jī)同時開，它均會自動記時。
五、LYLH-12Y-54 六氟化硫氣體回收充放裝置操作說明及注意事項
進(jìn)入工作狀態(tài)的操作應(yīng)是在完成第四節(jié)有關(guān)內(nèi)容的工作后才能進(jìn)行。
本裝置具有抽真空、回收貯存、充放、灌瓶、凈化干燥五個基本功能及相應(yīng)的組合功能，下面按各功能分別說明其操作，參見附錄四操作面板流程圖，操作時應(yīng)注意按先后順序進(jìn)行。
閥門在下述開機(jī)時均假設(shè)處于關(guān)閉狀態(tài)。
1、抽真空
指將裝置或系統(tǒng)從一個大氣壓抽至本裝置極限真空度或認(rèn)定的真空度。
注意點：
開真空泵抽真空之前，根據(jù)需要決定是否連接管路排放至室外。
開真空泵抽真空之前，必須保證被抽裝置或系統(tǒng)壓力為零表壓或以下。
凡需要觀察真空度時，打開V10閥門，觀察完畢后隨時關(guān)閉V10閥門。
真空保持狀態(tài)下請不要啟動SF6壓縮機(jī)。
當(dāng)開機(jī)使用或裝置處于通大氣狀態(tài)時應(yīng)先對裝置本身抽真空，操作方法見下表①
當(dāng)需要回收時，應(yīng)先對連接管路抽真空（與軟管連接的電器設(shè)備出口處閥門此時應(yīng)關(guān)閉），操作方法見下表②
當(dāng)需灌瓶時，操作方法同上，見下表③
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抽真空
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開機(jī)
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停機(jī)
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①裝置本身
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開真空泵、V8、V2、V3、V5。V 6。V9
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關(guān)V8、真空泵、 V2、V3、V5。V 6。V9
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②回收管路
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開真空泵、V8、 V1
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關(guān)V8、真空泵、V1
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③電器設(shè)備
充放管路
鋼瓶
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開真空泵、V8、 V4
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關(guān)V8、真空泵、V4
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2、回收貯存
指將電器設(shè)備中SF6氣體回收至裝置貯存容器內(nèi)貯存，一般從回收初壓力回收至本裝置回收終壓力或認(rèn)定的回收終壓力。
管路連接后，首先應(yīng)確定是否需對裝置或管路抽真空，判斷和操作方法見本節(jié)1，抽真空有關(guān)內(nèi)容。
根據(jù)回收當(dāng)時環(huán)境溫度和回收氣體量多少提前半至一小時啟動冷凍壓縮機(jī)，直至回收結(jié)束。
回收初始，回收初壓力較高時，開V1、半開V2 、V3、SF6壓縮機(jī)。
開機(jī)后應(yīng)注意觀察SF6壓縮機(jī)的排氣壓力表，壓力指示值應(yīng)小于2.0MPa，壓縮機(jī)出口端接點壓力控制器，若指示值達(dá)到限定值2.0MPa，壓力控制器能自動切斷壓縮機(jī)的運(yùn)行，待壓力下降并穩(wěn)定后，重新啟動壓縮機(jī)。所以當(dāng)排氣壓力上升過快時，可適當(dāng)調(diào)節(jié)壓縮機(jī)進(jìn)氣口V2閥門開啟的大小來控制。
回收過程中應(yīng)通過視鏡玻璃注意觀察貯存容器內(nèi)液面情況，*高液位不可超過視鏡2/3處。如需儲存至下方大儲罐則開啟閥門V6 ,待冷凍罐液態(tài)六氟化硫完全進(jìn)入大儲罐及時關(guān)閉V6 。
反復(fù)回收達(dá)到回收終壓力或預(yù)定值時，回收工作結(jié)束。
關(guān)冷凍壓縮機(jī)，關(guān) V3、SF6壓縮機(jī)、V2、V1。
3、充放
指將貯存于裝置貯存容器內(nèi)的SF6充至電器設(shè)備直至達(dá)到所需的工作壓力。
管路連接后首先應(yīng)確定是否需對電器設(shè)備及管路抽真空，判斷和操作方法見本節(jié)1抽真空有關(guān)內(nèi)容。
當(dāng)貯存容器壓力較高時，開V6 V7，直接向電器設(shè)備充氣，可觀察儲罐壓力表值。
當(dāng)貯存容器壓力降低后，無法直接向電器設(shè)備充氣，在V1處外接氣源通過V1、V4直接向電器設(shè)備充氣；或外接氣源壓力較低時也利用壓縮機(jī)將外接氣源的SF6充至電器設(shè)備內(nèi)，這時關(guān)V4，開V1、V2、V3、SF6壓縮機(jī)、V7，直至達(dá)到所需的工作壓力。
停機(jī)應(yīng)將系統(tǒng)內(nèi)的SF6用壓縮機(jī)收至貯存容器內(nèi)，直至吸氣口壓力為零表壓，關(guān)SF6壓縮機(jī)及有關(guān)閥門。
4、灌瓶
灌瓶是指直接將電器設(shè)備內(nèi)的SF6回收充入鋼瓶。
管路連接后，首先應(yīng)確定是否需抽真空，回收管路和鋼瓶連接管路可一起抽。
提前開冷凍壓縮機(jī)。
開V1、V2、SF6壓縮機(jī)、V3、V7、鋼瓶閥門,進(jìn)行罐瓶。
灌瓶過程中，注意SF6壓縮機(jī)排氣壓力，若接近1.9MPa，應(yīng)進(jìn)行切換操作，以放出鋼瓶上部高壓氣體，使其進(jìn)入低壓的容器內(nèi)。
切換操作：關(guān)V1、V7、迅速半開 V4，約1~2分鐘，操作者自行掌握?；謴?fù)充液時關(guān)V4，開V1并迅速開V7，可反復(fù)切換，直至鋼瓶充滿。
鋼瓶充滿后，關(guān)V1、V7、鋼瓶閥門。利用壓縮機(jī)將管路內(nèi)存有液體抽盡，直至回收初壓力表達(dá)到零表壓。關(guān)SF6壓縮機(jī)、冷卻器、冷凍壓縮機(jī)及有關(guān)閥門。
注：罐瓶指貯液罐內(nèi)已有一定量的SF6液體，可隨時觀察液位指示。
5、凈化、干燥
指裝置在不降低原氣體的純度情況下，對SF6氣體中所含有的固體雜質(zhì)、油份、水份加以去除，從而保證進(jìn)入電器設(shè)備的SF6氣體的純度。一般的凈化干燥隨回收貯存和充放過程 同步完成，自循環(huán)凈化方法如下：
貯液罐內(nèi)SF6自循環(huán)時，開冷凍壓縮機(jī)、V6、V5、SF6壓縮機(jī)、V3。若SF6壓縮機(jī)排氣壓力太高可調(diào)節(jié)V5閥門開啟大小，以便氣體正常循環(huán)。
自循環(huán)結(jié)束時，關(guān)V6、V5、SF6壓縮機(jī)、V3、冷凍壓縮機(jī)等。
六、維修和保養(yǎng)
回收裝置及其環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔，對各主要設(shè)備應(yīng)經(jīng)常檢查，按期維修和保養(yǎng)，請注意不能隨意松動任何接頭、螺栓、螺母，應(yīng)有專門人員進(jìn)行操作、維修。
1、真空泵
①使用中注意事項
經(jīng)常注意油位。
泵起動后再打開閥門。
經(jīng)常注意泵運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，有無特殊聲響，電機(jī)是否超負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)。
注意泵溫升不超過40℃。
嚴(yán)禁用煤油、汽油、酒精等對泵作非拆卸的清洗。
若泵長期擱置不用，應(yīng)將油放盡，然后注入新油。
②換油期
新泵跑合運(yùn)轉(zhuǎn)后，可能有少量金屬碎屑和其他雜質(zhì)在油箱中沉積起來，對泵的性能不會有影響，但以除去為宜，推薦在使用100小時后，把油放出，把含有雜質(zhì)的少部分油除去，其余的清潔油仍可用濾網(wǎng)過濾后加入泵內(nèi)，酌量補(bǔ)充一點新油，以后的換油期，需油用戶根據(jù)使用情況和效果酌情決定。原則為一年更換一次（約2000小時）。
③換油方法
先開泵運(yùn)轉(zhuǎn)約半小時，待油變稀，停泵從放油孔放油。再敞開進(jìn)氣口運(yùn)轉(zhuǎn)10~20秒，此間可以吸氣口緩緩加入少量新油。以更換泵腔內(nèi)的存油，如出來的油很臟，后者可重復(fù)進(jìn)行，不可用清洗液沖洗泵內(nèi)存油和雜質(zhì)。
④檢修應(yīng)有專門人員進(jìn)行。
2、SF6壓縮機(jī)
①使用注意事項
因啟動過頻會影響電機(jī)壽命，所以每小時啟動次數(shù)應(yīng)盡量少于5次，每次停機(jī)時間應(yīng)在3分鐘以上。
盡量避免壓縮機(jī)較長時間真空運(yùn)轉(zhuǎn)，故回收時要注意觀察壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力，當(dāng)回收初壓力顯示為零表壓，達(dá)到預(yù)定值，及時停止壓縮機(jī)回收。
運(yùn)轉(zhuǎn)中的油面應(yīng)保持在視油鏡范圍內(nèi)，即1/4-3/4位置。缺油停止運(yùn)行。
②換油期
原則上為一年更換一次(約2000小時)
③換油方法
隔斷SF6壓縮機(jī)系統(tǒng)，松開回油管接頭，從放油孔放油，清潔后加油至中心位置，再連接好回油管路，對SF6壓縮機(jī)抽真空，抽至100Pa以下壓縮機(jī)方可投入使用。
④檢修應(yīng)有專門人員進(jìn)行。
3、冷凍系統(tǒng)
①冷凍系統(tǒng)由冷凍壓縮機(jī)、風(fēng)冷冷凝器、貯液器、過濾器、電磁閥、熱力膨脹閥、蒸發(fā)器等組成。為了保持冷凝器的高效能，應(yīng)注意本裝置工作場地的清潔，冷凝器進(jìn)風(fēng)面與墻距離至少0.5米。
②冷凍壓縮機(jī)為全封閉壓縮機(jī)，每小時開停次數(shù)應(yīng)少于5次，每次運(yùn)轉(zhuǎn)時間在5分鐘以上，一次停機(jī)時間不少于3分鐘。
③運(yùn)行中應(yīng)檢查冷凍壓縮機(jī)吸排氣壓力值是否在規(guī)定范圍內(nèi)，高低壓壓力控制器出廠時已調(diào)整好控制值，參見第八節(jié)有關(guān)內(nèi)容，當(dāng)?shù)陀诘蛪合拗禃r，待壓力升高后，當(dāng)超過高壓限值時，待壓力降低后重新啟動壓縮機(jī)。
④運(yùn)行中應(yīng)注意冷凍壓縮機(jī)有無異常聲響，冷凝器風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，若發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，則切斷電源，然后進(jìn)行檢查修理。
⑤注意各連接部位是否有泄漏和滲油現(xiàn)象，滲油的部位往往是泄漏部位，發(fā)生上述現(xiàn)象，及時停機(jī)檢查處理。
⑥運(yùn)行中勿直接接觸配管，以免高溫部分對人體的燙壞。
⑦不得隨便松動各連接部位的螺栓及接管螺母，檢修應(yīng)有專門人員進(jìn)行。
⑧冷凍系統(tǒng)檢修后嚴(yán)格清洗、干燥，不得殘留有任何雜質(zhì)，并對冷凍系統(tǒng)抽真空至100Pa以下方可充注R22投入使用。
將氟里昂鋼瓶與加液口截止閥相連，先不要擰緊螺帽，開一下氟里昂鋼瓶，使氟里昂氣體沖出，以排盡管路內(nèi)的空氣，然后再擰緊該螺帽，打開截止閥。
開啟冷凍壓縮機(jī)吸入氟里昂，注意此時應(yīng)控制氟里昂鋼瓶閥門開啟度，避免流量過大使壓縮機(jī)積液。
充注過程中注意氟里昂鋼瓶重量變化，達(dá)到充注量后即可停止充注。
關(guān)閉氟里昂鋼瓶閥門、截止閥，恢復(fù)正常工作狀態(tài)。
如果制冷劑過量，應(yīng)從加液口放出R22。
4、凈化、干燥系統(tǒng)
①油分離器
裝置中有三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只和SF6壓縮機(jī)出口二只。
②干燥過濾器
干燥過濾器應(yīng)定期再生處理或更換分子篩，若長期停機(jī)或發(fā)現(xiàn)SF6氣體含水量超過標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)在使用前進(jìn)行再生處理。
5、儀表
本裝置主要儀表有壓力表、真空計，用戶應(yīng)根據(jù)儀表計量規(guī)定，定期進(jìn)行校驗。
真空計在需觀察時打開V8閥門，觀察完畢關(guān)閉閥門。
七、常見故障和消除方法
下面分電器、真空泵、壓縮機(jī)、冷凍系統(tǒng)、凈化干燥系統(tǒng)、儀表、系統(tǒng)等幾個方面列出了SF6回收裝置不能正常工作可能遇到的故障。請注意：調(diào)換任何部件，必須首先切斷回收裝置總電源。
1、電器
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序號
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故障
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可能的原因
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處理方法
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1
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SF6回收裝置連接后，推上電源后15秒內(nèi)指示燈5XD不亮
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相序不正確
繼電器2 JXW缺陷
指示燈缺陷
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轉(zhuǎn)動撥動開關(guān)到1或2
檢查繼電器2 JXW
檢查指示燈5XD
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2
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真空泵運(yùn)行，指示燈1XD不亮
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指示燈缺陷
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檢查指示燈1XD
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3
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SF6壓縮機(jī)運(yùn)行，指示燈2XD不亮
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指示燈缺陷
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檢查指示燈2XD
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4
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冷凍機(jī)運(yùn)行，指示燈3XD不亮
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指示燈缺陷
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檢查指示燈3XD
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5
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電加熱工作，指示燈4XD不亮
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指示燈缺陷
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檢查指示燈5XD
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6
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真空泵電機(jī)不轉(zhuǎn)
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斷路器熔斷
電動機(jī)過載
電動機(jī)缺陷
接觸器缺陷
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檢查斷路器1DL
檢查熱繼電器1RJ
檢查真空泵電機(jī)
檢查線圈1C和觸點
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7
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SF6壓縮機(jī)電機(jī)不轉(zhuǎn)
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斷路器熔斷
電動機(jī)過載
接觸器缺陷
電動機(jī)缺陷
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檢查斷路器2DL
檢查熱繼電器2RJ
檢查線圈2C和觸點
檢查電動機(jī)
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8
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冷凍壓縮機(jī)不轉(zhuǎn)
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斷路器熔斷
電動機(jī)過載
接觸器缺陷
電動機(jī)缺陷
剛通電或停機(jī)時間少于3分鐘
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檢查斷路器3DL
檢查熱繼電器3RJ
檢查線圈3C和觸點
檢查電動機(jī)
請稍候
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9
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冷凍壓縮機(jī)轉(zhuǎn)，冷凝器不轉(zhuǎn)
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風(fēng)扇電機(jī)缺陷
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檢查風(fēng)扇電機(jī)
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10
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電加熱不工作
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斷路器熔斷
電加熱有缺陷
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檢查斷路器4DL
檢查電加熱
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在檢查上述故障可能的原因時，還應(yīng)注意檢查總電源斷路器和各開關(guān)、按鈕的接觸性及有關(guān)的接線情況。
2、真空泵
①真空度不高的原因和消除方法
真空泵出口檢查，全壓強(qiáng)不高，旋去加油塞無明顯漏氣聲，可能存放不當(dāng)，有水汽進(jìn)入泵內(nèi)，應(yīng)更換新油。
無漏氣聲，換油無效，應(yīng)檢查閥座上小油孔是否堵塞，小孔位置在泵的短閥片處月形槽內(nèi)。
接入系統(tǒng)后真空度不高，可能是系統(tǒng)接頭，管道閥門，各類設(shè)備有漏氣，應(yīng)逐一捉漏檢查，排除故障。
泵未經(jīng)拆卸清洗，突然出現(xiàn)撞擊聲，真空度下降，可檢查旋片彈簧是否折斷，或有無異物進(jìn)入泵內(nèi)。
泵使用日久，真空度漸有下降，可能是潤滑油混入可凝性氣體和潤滑油裂介變質(zhì)，以及零件老化所致，可用換油、換零件，逐一試驗。
泵拆裝后，有大漏氣聲，可能是橡膠件裝配不當(dāng)，損壞，應(yīng)調(diào)整或更換。
排氣閥片老化變形、損壞或螺釘拉脫，會出現(xiàn)異樣氣聲和油面的顯著泛動，也會影響真空度，應(yīng)調(diào)整重裝。
以上措施均無效，又無漏氣聲，可能使用日久，零部件磨損或受腐蝕所致，也可能是轉(zhuǎn)子變形，精度降低，甚至轉(zhuǎn)子、旋片等零件損壞，應(yīng)拆開檢查，修整或換上新零件。
②噴油、漏油的原因及其消除方法
油霧、噴油是不允許的，可能是油過濾器老化（可用一年）油位過高，油檔板松脫，裝配不當(dāng)所致，可逐一檢查。
漏油可能是油封彈簧脫落、磨損，放油螺塞和墊片損壞，墊片未墊好，可逐一檢查調(diào)換。
3、SF6壓縮機(jī)
①壓縮機(jī)啟動后立即停機(jī)，可能是進(jìn)口壓力過高，致使高壓排氣壓力過高，自動停機(jī)，減小進(jìn)口壓力。
②壓縮機(jī)電機(jī)過載，熱繼電器未復(fù)位，可能不運(yùn)轉(zhuǎn)。
③壓縮機(jī)內(nèi)部有雜聲，應(yīng)有專業(yè)人員檢查或更換壓縮機(jī)。
4、冷凍系統(tǒng)
①冷凍壓縮機(jī)高壓壓力過高，故障原因是冷凝器冷卻風(fēng)扇未開（或未運(yùn)轉(zhuǎn)）或冷凝器被污染物堵塞，排除方法：前者使風(fēng)扇運(yùn)轉(zhuǎn)，后者清洗冷凝器。
②冷凍壓縮機(jī)低壓壓力過低：原因是膨脹閥堵塞，應(yīng)清洗膨脹閥或清理干燥過濾器，原因之二可能是制冷系統(tǒng)泄漏，應(yīng)查找泄漏源，并排除之，若必要再補(bǔ)充制冷劑。
③冷凍壓縮機(jī)高壓力過低而低壓壓力過高，可能是壓縮機(jī)內(nèi)部故障應(yīng)拆機(jī)檢查。
④冷凍壓縮機(jī)氣缸結(jié)霜，甚至排氣管結(jié)霜。
原因之一：膨脹閥調(diào)節(jié)不當(dāng)，流量過大，應(yīng)重新檢查調(diào)節(jié)膨脹閥。
原因之二：蒸發(fā)器內(nèi)部短路，應(yīng)檢查蒸發(fā)器內(nèi)部情況。
原因之三：制冷劑充灌量太大，可適當(dāng)泄放制冷劑。
5、凈化干燥系統(tǒng)
①油分離效果不好
可能是氣體溫度較高，應(yīng)檢查冷卻器風(fēng)扇是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，風(fēng)扇葉片是否完好。
油分離器失效，更換油分離器。
②干燥效果不好
可能是分子篩飽和應(yīng)進(jìn)行自再生處理，也可能干燥過濾器堵塞，應(yīng)拆開檢查，必要時更換內(nèi)件。
6、儀表
①壓力控制器達(dá)到上下限值但不切斷電路，可能為壓力控制器線路有故障，應(yīng)拆開檢查，必要時更換。
②其他壓力表或真空計讀數(shù)不準(zhǔn)，可能為儀表損壞，應(yīng)校驗或更換。
③各儀表不讀數(shù)，應(yīng)檢查各接口是否完好。
7、系統(tǒng)
系統(tǒng)有漏氣聲，可能為各連接部位或部件附近有漏點，可用充氮法檢查并排除之。
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